| 摘要 |
本发明微机械压电射流陀螺，属于通过微机械加工工艺制作的由压电泵产生射流的陀螺仪。用于机器人、头盔、摄像机等微型载体的稳定系统。本发明由敏感元件、底座、外壳、信号处理电路、绝缘子、垫片组成，电源和信号经底座上玻璃灌装的绝缘子接线引出。敏感元件包括压电陶瓷微泵、射流腔体和Pt薄膜热敏电阻，它是由上下两个硅板键合而成，在上硅板上有振膜、泵室、射流腔体和Pt薄膜热敏电阻，下硅板具有与上硅板对称的结构，但没有Pt薄膜热敏电阻，在下硅板的表面被电极，并与上硅板键合构成密闭的射流腔体。信号处理电路包括压电泵驱动电路、电桥电路、放大电路、滤波电路和补偿电路。 |
