一种基于柔性衬底的自驱动ZnO基紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开的基于柔性衬底的自驱动ZnO基紫外探测器，自下而上依次有透明导电柔性衬底、ZnO籽晶层、ZnO纳米阵列、电解质层、Pt导电层和柔性衬底。其制备方法为采用激光脉冲沉积法在透明导电柔性衬底上生长ZnO籽晶层，再在其上水热生长ZnO纳米阵列；采用电子束蒸发法在柔性衬底上蒸镀Pt导电层；并将其覆盖在ZnO纳米阵列上，使两者之间形成20～60μm的空腔；最后将电解质注入空腔，密封制成基于柔性衬底的自驱动ZnO基紫外探测器。相比于传统的紫外探测器，本发明具有无需外加偏压、响应速度快、灵敏度高、结构简单、可携带、可折叠等优势。此外，制备成本低，易于实现大面积生产，在军事、民用以及在小型便携式电器和某些特殊场合如野外有着广泛的应用前景。

主权项

一种基于柔性衬底的自驱动ZnO基紫外探测器，其特征是自下而上依次有透明导电柔性衬底（1）、ZnO籽晶层（2）、ZnO纳米阵列（3）、电解质层（4）、Pt导电层（5）和柔性衬底（6）。