一种多弧离子镀设备的电弧靶的位置结构

摘要

一种多弧离子镀设备的电弧靶的位置结构，涉及离子镀膜设备技术领域。本实用新型包括真空腔体，在真空腔体的中心设置工件架，在工件架四周、于真空腔体每侧的壁面上分别依次间隔设置第一电弧靶和第二电弧靶；第一电弧靶包括若干个由上至下均布的单一金属靶材；第二电弧靶包括若干个由上至下均布的多元元素靶材；每相邻的第一电弧靶与第二电弧靶上的单一金属靶材和多元元素靶材之间分别呈螺旋布置；全数的单一金属靶材和全数的多元元素靶材在高度方向上由上至下分别间隔布置且之间距离相等。本实用新型同一炉次制备出多层结构的PVD硬质镀层，且制备出的PVD镀层的元素含量基本一致，厚度均匀性和镀层成分均匀性得到了保障。

主权项

一种多弧离子镀设备的电弧靶的位置结构，其特征在于：包括真空腔体，在真空腔体的中心设置工件架，在工件架四周、于真空腔体每侧的壁面上分别依次间隔设置第一电弧靶和第二电弧靶；所述第一电弧靶包括若干个由上至下均布的单一金属靶材；所述第二电弧靶包括若干个由上至下均布的多元元素靶材；每相邻的第一电弧靶与第二电弧靶上的单一金属靶材和多元元素靶材之间分别呈螺旋布置；全数的单一金属靶材和全数的多元元素靶材在高度方向上由上至下分别间隔布置且之间距离相等。