发明名称 半导体元件校正装置
摘要 半导体元件校正装置,涉及半导体元件生产设备领域。包括手指缸座,手指缸座上安装有手指缸,手指缸上连接有对称布置的左、右校正抓,手指缸驱动左、右校正抓滑动,来控制左、右校正抓的对合和分离,左、右校正抓相对侧端面分别设置有凹槽,左、右校正抓相对侧端面上的凹槽对合形成与待校正元件外形相同的校正型腔。本实用新型结构简单,效率较高;并且半导体元件是真空吸附在吸嘴上的,因此校正过程中不会损伤半导体元件。
申请公布号 CN204223272U 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201420641210.4 申请日期 2014.10.31
申请人 扬州泽旭电子科技有限责任公司 发明人 李永备;蒋艳丽;张磊
分类号 B65B35/56(2006.01)I 主分类号 B65B35/56(2006.01)I
代理机构 扬州市锦江专利事务所 32106 代理人 秦关华
主权项 半导体元件校正装置,其特征在于:包括手指缸座,手指缸座上安装有手指缸,手指缸上连接有对称布置的左、右校正抓,手指缸驱动左、右校正抓滑动,来控制左、右校正抓的对合和分离,左、右校正抓相对侧端面分别设置有凹槽,左、右校正抓相对侧端面上的凹槽对合形成与待校正元件外形相同的校正型腔。
地址 225200 江苏省扬州市江都区仙女镇工业园区江佳路