以探针压触基板线路检测点的对位方法及其装置

摘要

本发明涉及一种以探针压触基板线路检测点的对位方法及其装置，包含于一检测台上枢置一能摆放基板的承放盘，该基板上具有多线路的检测点，使用检测台上的一上影像感测器于承放盘上方感测基板，以校正检测点的基准位置，并使用检测台上的一下影像感测器，于一跟随上影像感测器移动的检测模具下方，感测该模具底部的多探针，以校对所述探针与检测点的基准位置。

主权项

一种以探针压触基板线路检测点的对位方法，其特征在于，包含有︰于一检测台上提供一能够摆放待测基板的承放盘，该基板上具有多线路的检测点；使用该检测台上的一上影像感测器，于该承放盘上方感测该基板，并经由调动该承放盘以校正该基板的检测点的基准位置；及使用该检测台上的一位置低于该上影像感测器的下影像感测器，于一跟随该上影像感测器移动的检测模具下方，感测该模具底部的多探针，并经由调动该承放盘或该模具，以校对所述探针与该检测点的基准位置；其中，该模具与该上影像感测器一同设于一第二驱动器的垂向驱动单元上，且该模具的高度低于该上影像感测器，该第二驱动器驱动该模具跟随该上影像感测器沿纵向、横向及垂向位移，以及触及脱离该基板的该检测点。