多晶硅生产四氯化硅渣浆回收处置方法及其装置

摘要

本发明涉及一种四氯化硅渣浆回收处置方法及其装置。该方法利用桨叶干燥机将大量的SiCl₄通过连续间接加热的方式蒸发除去，其中蒸发氯硅烷和三氯氢硅气体经洗涤、冷凝回收后收集，尾气经水解处置排放。干燥机蒸发后形成的固形物，则通过螺杆泵连续输送至水解罐进行水解、中和、回收二氧化硅处置。本发明解决了现有技术干燥与水解间歇进行，处理能力有限，产生爆沸，辅料用量大的问题。达到节能、环保、安全的目的。

主权项

一种四氯化硅渣浆回收处置方法，其特征是：来自上游工段的以氯硅烷为主的液体，连续进入桨叶干燥机（1），通过蒸汽间接加热蒸发，氯硅烷液体在从进料口向出料口运动的过程中逐渐浓缩，变为膏状物，流经波纹管（3）进入螺杆泵（2），调整螺杆泵（2）转速将膏状渣浆输送至水解罐（18）进行连续水解，水解产生的尾气排至第二喷淋洗涤塔（19）进行二次吸收，产生稀盐酸；水解尾气经第二喷淋洗涤塔（19）自带的除雾器除雾后直接排放大气，洗涤液由第三泵（20）输送；    桨叶干燥机干燥产生渣浆的尾气主要为氯硅烷，尾气首先进入第一喷淋洗涤塔（5），洗涤液通过循环泵（8）加压循环，将尾气带出的固形物洗涤下来，洗涤后的尾气再经第一喷淋洗涤塔（5）自带的除雾器除雾后进入冷凝器（10）进行冷凝回收，冷凝器（10）冷凝后的液体与气体进入除雾分离器（9）分离后，分离后汇聚的液体部分利用液位控制器（7）通过第四泵（22）输送至回收工段回收； 气相部分利用自压输送至水解罐（18）进行水解，第二喷淋洗涤塔（19）的液位由调节阀（21）调整；    利用水水解产生的混合物，混合物经第二泵（17）将水解罐（18）连续水解的渣浆输送至中和搅拌罐（16）进行中和；中和后的混合物经第一泵（14）输送至转鼓压力过滤机（12）进行分离，分离的固相为粗二氧化硅粉末（13），液相为中性废液，中和搅拌罐（16）设置酸碱度（15）指示，通过调整氢氧化钠溶液流量控制器（11）中和。