等离子体处理装置

摘要

一种等离子体处理装置(10)，包括：收容电池(22)的本体部(11)，气瓶(15)，电源电路(21)，以及包括一对电极(18、19)的等离子体生成器(20)。装置还包括可拆卸的施加器部(12)，以及从生成器(20)延伸的用于将所生成的等离子体输送到出口并将形成在出口处的等离子体羽引导到处理区域上的延长导管(14)，所述出口在导管(14)的远端处。环形电极(25)被设置在导管(14)的出口处，并经由延长电导体(26)连接到电源电路(21)。环形电极(25)起到将所生成的等离子体内的电子从排出的等离子体羽带走的作用，从而帮助避免由结果电流导致的任何感觉。可提供电路(17)测量来自电极(25)的电流的电路，电源电路(21)被布置成根据所测电流调整供应到一对电极(18、19)的电力。

主权项

一种等离子体处理装置，包括：用于在气体流内生成非热气态组分形式的等离子体的等离子体生成器，以及从所述生成器延伸的用于将所生成的等离子体输送到出口并将形成在所述出口处的等离子体羽引导到处理区域上的延长导管，所述出口被设置在所述导管的远端处，其中所述导管包括设置在所述出口处的电极，以减小从其存在的等离子体内的电子的数量，所述电极经由电导体被连接到电流吸收器以将电子带走。