发明名称 |
感光性树脂元件的制造方法 |
摘要 |
本发明的课题是提供生产率优异且外观良好的感光性树脂元件的制造方法,提供感光性树脂元件的制造方法,其包括以下的工序:将(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量为5000~500000的粘结剂用树脂、(b)能够光聚合的不饱和化合物、(c)光聚合引发剂、(d)丙酮和(e)非丙酮溶剂进行调合,从而得到调合液的工序,此处,该(d)丙酮的质量相对于该(d)丙酮和该(e)非丙酮溶剂的总计质量的比率为30质量%~98质量%,并且该调合液中的总固体成分的比率为30质量%~80质量%;以及将该调合液应用于支撑层上并进行干燥,从而在该支撑层上形成感光性树脂元件的工序。 |
申请公布号 |
CN104471482A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201380038469.8 |
申请日期 |
2013.07.19 |
申请人 |
旭化成电子材料株式会社 |
发明人 |
五十岚勉;木野智博 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G03F7/033(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种感光性树脂元件的制造方法,其包括以下的工序:将(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量为5000~500000的粘结剂用树脂、(b)能够光聚合的不饱和化合物、(c)光聚合引发剂、(d)丙酮、和(e)非丙酮溶剂进行调合,从而得到调合液的工序,此处,该(d)丙酮的质量相对于该(d)丙酮和该(e)非丙酮溶剂的总计质量的比率为30质量%~98质量%,并且该调合液中的总固体成分的比率为30质量%~80质量%;以及将该调合液应用于支撑层上并进行干燥,从而在该支撑层上形成感光性树脂元件的工序。 |
地址 |
日本东京都 |