一种加速度计中的Z轴结构及三轴加速度计

摘要

本发明提供了一种加速度计中的Z轴结构及三轴加速度计，包括位于X轴方向上的第一弹性梁以及位于Y轴方向上的第二弹性梁，其中，第二弹性梁的两端连接在基板的锚点上，第一弹性梁的两端连接质量块，所述第一弹性梁偏离质量块X轴方向的中线；还包括将质量块连接起来的横梁、纵梁；还设置有连接两条横梁的加强梁，其中，两个惯性测量模块中的第二弹性梁相对于加强梁对称分布。本发明的三轴加速度计，平面内的某一轴(X轴、Y轴)的运动不会受到结构偏心特性的影响，使得X轴、Y轴的运动均是线运动，从而不会加剧轴间的耦合；另一方面也不会降低在质量块在X轴、Y轴上的位移量，从而提高了电容检测的精度。

主权项

一种加速度计中的Z轴结构，其特征在于，包括两个结构对称的惯性测量模块，每个惯性测量模块包括：基板，以及位于基板上作为下电极的第一极片(4)，悬空在基板上方的质量块(1)；所述质量块(1)上设有与第一极片(4)组成Z轴检测电容的上电极；用于连接基板和质量块(1)的弹性十字梁，所述弹性十字梁包括位于X轴方向上的第一弹性梁(12)以及位于Y轴方向上的第二弹性梁(11)，其中，第二弹性梁(11)的两端连接在基板的锚点(6)上，第一弹性梁(12)的两端连接质量块(1)，或者是第一弹性梁(12)的两端连接在基板的锚点(6)上，第二弹性梁(11)的两端连接质量块(1)；所述第一弹性梁(12)偏离质量块(1)X轴方向的中线；还包括将两个惯性测量模块中质量块(1)的两侧分别连接起来的连接梁；所述连接梁包括位于X轴方向上的横梁(7)，还包括位于Y轴方向上、一端与横梁(7)连接一端与质量块(1)侧壁连接的纵梁(8)；还设置有连接两条横梁(7)的加强梁(130)，其中，两个惯性测量模块中的第二弹性梁(11)相对于加强梁(130)对称分布。