一种设备的全局设备效率报表的生成方法

摘要

本发明公开了一种设备的全局设备效率报表的生成方法，涉及半导体制造领域。该方法为：根据每个芯片生产过程中的状态，将所述芯片生产的总时间根据生产芯片的设备状态划分为多个单元；将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先权代码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态；计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。本发明通过细化和量化设备状态，生成细化精准的设备OEE报表,以便生产管理者能够精准掌握生产设备状态，合理安排生产计划或实时调整生产计划，或即时发现设备生产问题及即时纠正。提高设备利用效率。

主权项

一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，包括下述步骤：步骤1.根据每个芯片生产过程中的状态，将所述芯片生产的总时间根据生产芯片的设备状态划分为多个单元；步骤2.将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先权代码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态；步骤3.计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。