光照射装置

摘要

本发明提供一种光照射装置，具有4盏灯，在该光照射装置中，提供可容易地进行灯或聚光镜的更换等的光源部保养的结构。在该光照射装置中，配置成4盏灯处于四角形的顶点，将光源部分割成使两盏灯作为一组的两个单元，在各自的单元上设置拉出导件(导轨)。而且，将两个单元朝分别处于水平面的相反的方向(左右方向)拉出。

主权项

一种光照射装置，具有1边的长度为2m以上的光源部，该光源部具备：4盏灯，以及4面反射镜，设在上述灯的各自的周围，反射来自各灯的光；配置成上述4盏灯位于四角形的顶点，并且配置成上述4面反射镜的第2焦点位置一致，该光照射装置用于曝光装置，其特征在于，具有：第1拉出导件，安装有第1光源单元，使该第1光源单元朝水平的第1方向拉出，上述第1光源单元以配置在上述四角形的第1顶点的第1灯与反射来自该第1灯的光的第l反射镜、配置在与上述第1顶点相邻的第2顶点上的第2灯与反射来自该第2灯的光的第2反射镜、框架以及底板作为一组；以及第2拉出导件，安装有第2光源单元，使该第2光源单元朝水平并且与上述第1方向相反的第2方向拉出，上述第2光源单元以配置在上述四角形的第3顶点的第3灯与反射来自该第3灯的光的第3反射镜、配置在与上述第3顶点相邻的第4顶点上的第4灯与反射来自该第4灯的光的第4反射镜、框架以及底板作为一组，将上述第1光源单元和上述第2光源单元朝处于水平面的相反的方向拉出。