| 发明名称 | 丝锯装置 | ||
| 摘要 | 描述一种丝锯装置。所述丝锯装置包括切割头、至少四个轴承箱套筒和温度控制防护罩布置，所述切割头具有框架主体和至少四个开口，所述至少四个开口经配置用于接收一组丝线导向器圆筒，所述温度控制防护罩布置具有一个或多个温度控制防护罩，其中框架主体由矿物铸件制造且与所述至少四个轴承箱套筒和所述一个或多个温度控制防护罩组合，其中所述至少四个轴承箱套筒中的每一个设置在所述至少四个开口中的各自一个中。本实用新型能够使用较薄的丝线和使用较好的晶片总厚度变化以较高的生产率切割较薄的晶片。 | ||
| 申请公布号 | CN204221987U | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201420152993.X | 申请日期 | 2014.03.31 |
| 申请人 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 发明人 | 安德烈亚斯·施密特;纪尧姆·麦卡;亚历山大·米塔兹 |
| 分类号 | B28D5/04(2006.01)I;B23D61/18(2006.01)I | 主分类号 | B28D5/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 侯颖媖 |
| 主权项 | 一种丝锯装置，包含： 切割头，所述切割头具有框架主体和至少四个开口，所述至少四个开口经配置用于接收一组丝线导向器圆筒， 至少四个轴承箱套筒，和 温度控制防护罩布置，所述温度控制防护罩布置具有一个或多个温度控制防护罩， 其中，所述框架主体由矿物铸件制造且与所述至少四个轴承箱套筒和所述一个或多个温度控制防护罩组合， 其中，所述至少四个轴承箱套筒中的每一个设置在所述至少四个开口中的各自一个中。 | ||
| 地址 | 瑞士洛桑 | ||