群集的质量流装置和包含该装置的多管线质量流装置

摘要

本发明涉及群集的质量流装置和包含该装置的多管线质量流装置，具体提供了一种配置用于控制输送两种或更多种流体进入处理室的多管线质量流装置。该多管线质量流装置包括群集的质量流控制歧管和多入口歧管。该群集的质量流控制歧管包括控制器、气体歧管装配台、以及两种或更多种气体流控制站。该多入口歧管包括多入口装配台、以及安装到该多入口装配台上的两个或更多个隔离阀。

主权项

一种群集的质量流装置，其包括控制器、气体歧管、两个或更多个控制阀、以及两个或更多个流量传感器，其中：所述控制器被电耦合到每个控制阀以及被电耦合到每个流量传感器；所述气体歧管包括两个或更多个气体分配流动路径、气体混合区、以及气体出口；所述气体歧管的每个气体分配流动路径包括被配置来接收气体的气体入口、以及耦合到所述气体入口的气体流通道；所述气体歧管的所述气体混合区被流体耦合到每个气体流通道；所述气体歧管的所述气体出口被流体耦合到所述气体混合区；每个流量传感器以及每个控制阀都被流体耦合到所述气体分配流动路径的相应的气体流通道；每个流量传感器位于所述控制阀和所述气体混合区之间，并处于所述控制阀的下游；所述控制器被编程以向每个控制阀提供用于控制每个控制阀的位置的控制信号，从而产生所期望的气体流；以及所述控制器被进一步编程以利用气体流配方程序以自动接收和处理来自每个流量传感器的表示流经每个气体流通道的气体的流率的所测得的气体流信号，并基于所述所测得的气体流信号调整每个控制阀的位置以调节气体流，从而保持将从所述气体出口释放的两种或更多种气体的所期望的质量的气体流。