一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法

摘要

本发明涉及一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，该方法是：在真空室内，通过磁控溅射的方法，将靶材上的锡元素电离并使它沉积到工件表面，在电场作用下，工件表面的锡与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上成膜。采用本发明的方法，所镀氧化锡膜根据厚度，可以呈现银白、粉红、绿、蓝和金黄等色彩。膜层艺简单，成本低，膜层附着力好，并具有很好的耐腐蚀性。

主权项

一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。