发明名称 氧化锆基传感器的低温共烧方法
摘要 本发明涉及一种片式氧化锆传感器的低温共烧方法,所述方法包括:在氧化钇稳定氧化锆中加入低熔点、具有离子导电性的玻璃粉,配制浆料;将浆料流延成型,切割,冲过孔、参比气体通道、气体室等;印刷Pt等贵金属电极,叠层热压,并在1000℃~1200℃下共烧0.5~4小时。
申请公布号 CN102910903B 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201210445355.2 申请日期 2012.11.08
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 冯涛;夏金峰;蒋丹宇
分类号 C04B35/48(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I 主分类号 C04B35/48(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 郭辉
主权项 一种制备片式氧化锆基传感器的低温共烧方法,所述方法包括:在氧化锆中加入低熔点、具有离子导电性的玻璃粉,配制浆料;将所述浆料流延成型,经切割和冲出孔、参比气体通道和气体室,由此提供传感器基片;在基片上印刷电极,叠层热压,并在900℃~1200℃下共烧0.5~4小时。
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号