发明名称 微波加热处理装置和处理方法
摘要 本发明提供电力的利用效率和加热效率优异、能够对被处理体进行均匀的处理的微波加热处理装置和处理方法。在微波加热处理装置(1)中,在处理容器(2)的顶部(11),四个微波导入口(10)分别配置为以其长边和短边与四个侧壁部(12A、12B、12C、12D)的内壁面平行,且配置于相互变更90°角度的旋转位置。各微波导入口(10)配置为,在沿与各自的长边垂直的方向平行移动的情况下,不与具有平行的长边的其它微波导入口(10)重叠。
申请公布号 CN103188835B 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201210584999.X 申请日期 2012.12.28
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 池田太郎;河西繁;山下润;伴昌和
分类号 H05B6/64(2006.01)I;H05B6/80(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H05B6/64(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种微波加热处理装置,其特征在于,具备:在内部具有微波放射空间并且收容被处理体的处理容器;和生成用于对所述被处理体进行加热处理的微波并将该微波导入所述处理容器的微波导入装置,所述处理容器具有上壁、底壁和相互连接的四个侧壁,所述微波导入装置具有第一微波源至第四微波源作为多个微波源,所述上壁具有将在所述第一微波源至第四微波源的各个中生成的所述微波导入所述处理容器的第一微波导入口至第四微波导入口,所述第一微波导入口至第四微波导入口在俯视时分别呈具有长边和短边的矩形,其长边和短边设置为与所述四个侧壁的内壁面平行,各微波导入口配置于相互变更90°角度的旋转位置,且配置为在沿与所述长边垂直的方向平行移动的情况下,不与具有平行的长边的其它微波导入口重叠。
地址 日本东京都