抽出口对称式真空室

摘要

本实用新型涉及抽出口对称式真空室,所述真空室呈圆筒形，其特征在于所述真空室上设有至少4个抽出口，抽出口呈左右对称分布，抽出口呈线性排列。本实用新型同现有技术相比具有以下优点及效果：真空室的抽出口采用对称是结构设计并呈线性排列，抽真空作业时有效保证真空室内的线性真空度与线性镀膜的均匀度相一致，在快速镀膜工作时，实现镀膜的均匀性提供了可能。

主权项

抽出口对称式真空室,所述真空室呈圆筒形，其特征在于：真空室呈水平向设置，所述抽出口的延长线与真空室的延长线相垂直，所述真空室的侧壁设有至少4个抽出口，抽出口呈左右对称分布，抽出口至少分为上下两排，单排的抽出口呈线性排列，各排间的抽出口呈平行位置，所述抽出口中，位于上方的抽出口口径大于位于下方的抽出口口径。