应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置

摘要

本发明公开了一种应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置，包括：用于将化学药液加热的加热器；用于测量经加热器加热后的化学药液的实际温度的温度传感器；根据设定温度与测量的实际温度的温差输出控制信号的控制器；和根据所述控制信号控制所述加热器加热的功率控制器。其中，当温差超出预定范围时，控制器基于PI运算输出所述控制信号；当温差位于所述预定范围内时，控制器根据该温差在该预定范围内的区段输出与该区段相对应的定常量的所述控制信号，其中所述预定范围内的区段为连续分布的多个。本发明能够快速稳定地控制药液加热且无超调。

主权项

一种应用于化学药液供给系统的化学药液温度控制装置，其特征在于，包括：加热器，用于将所述化学药液供给系统的储液罐输出的化学药液加热；温度传感器，用于测量经所述加热器加热后的化学药液的实际温度；控制器，根据设定温度与所述温度传感器所测量的实际温度的温差输出控制信号；其中，当所述温差超出预定范围时，所述控制器基于PI运算输出所述控制信号；当所述温差位于所述预定范围内时，所述控制器根据该温差在该预定范围内的区段输出与该区段相对应的定常量的所述控制信号，其中所述预定范围内的区段为连续分布的多个；以及功率控制器，与所述控制器及加热器相连，根据所述控制信号控制所述加热器加热功率。