| 发明名称 | 一种提高SE工艺正刻槽新配药液激活效率的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种提高SE工艺正刻槽新配药液激活效率的方法，其步骤包括：使用200目的聚酯和聚酰胺纤维制成的网布，内装20-50g原始硅片粉末，包扎成袋；将其置于新配的正刻槽药液的储液槽，10-20分钟后该激活包取出，即可以开始生产。本发明的有益效果是通过使用装有硅片粉末的激活包，使新配药液在15分钟后即可正常生产，缩短了新配药液所需激活时间，提高产能；同时，由于避免了使用假片激活药液，平均每次新配药液时刻蚀机台可以减少假片报废量，降低生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN104465872A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201410700153.7 | 申请日期 | 2014.11.28 |
| 申请人 | 浙江鸿禧能源股份有限公司 | 发明人 | 顾君;华松;方智 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种提高SE工艺正刻槽新配药液激活效率的方法，其特征在于：使用200目的聚酯和聚酰胺纤维制成的网布，内装20‑50g原始硅片粉末，包扎成袋；将其置于新配的正刻槽药液的储液槽，10‑20分钟后该激活包取出即可使用。 | ||
| 地址 | 314205 浙江省嘉兴市平湖市新仓镇广全线联盟段283号 | ||