发明名称 |
一种揭膜剂及其制备方法和减少LED芯片倒膜损失的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种揭膜剂及其制备方法和减少LED芯片倒膜损失的方法,属于半导体器件制造领域。本发明的揭膜剂由丙酮、异丙醇和硝酸在一定条件下混合得到,组分安全,混合物中各物质的分散度好,能够快速软化蓝膜并且能够快速挥发,不会渗透蓝膜污染芯片,在芯片倒膜工艺中使用本发明的揭膜剂,可以使揭膜过程中的晶粒的损失降为零,本发明的揭膜剂和倒膜工艺安全环保,毒性低,经济效益高,值得推广使用。 |
申请公布号 |
CN104465903A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201410781724.4 |
申请日期 |
2014.12.16 |
申请人 |
马鞍山太时芯光科技有限公司 |
发明人 |
朱燕;李有群;徐兴庆;许静;廉鹏 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
南京知识律师事务所 32207 |
代理人 |
蒋海军 |
主权项 |
一种揭膜剂,其特征在于:其组成成份及质量份数为:丙酮10‑15份,异丙醇10‑30份,硝酸1‑3份。 |
地址 |
243000 安徽省马鞍山市马鞍山承接转移示范园区凤凰山西路146号 |