可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台

摘要

本实用新型公开了一种可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台，平台包括外壳、与外壳固定安装的椭圆放大机构、位于椭圆放大机构上方的钳位机构、位于钳位机构上方的驱动机构、以及导向机构，导向机构为交叉滚柱导轨，驱动机构为驱动压电陶瓷，钳位机构包括与驱动机构粘接的钳位块和位于钳位块下方的钳位导轨，椭圆放大机构包括与钳位导轨相连的椭圆框架及位于椭圆框架内的钳位压电陶瓷，驱动压电陶瓷两端输入有用于控制钳位块左右运动的第一电压信号，钳位压电陶瓷两端输入有用于控制钳位导轨上下运动的第二电压信号。本实用新型集导向、钳位、驱动于一体，系统集成度高、体积小，适用于对尺寸有要求的高精密定位场合。

主权项

一种可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台，其特征在于，所述平台包括外壳、与外壳固定安装的椭圆放大机构、位于椭圆放大机构上方的钳位机构、位于钳位机构上方的驱动机构、以及导向机构，所述导向机构为交叉滚柱导轨，所述驱动机构为驱动压电陶瓷，所述钳位机构包括与驱动机构粘接的钳位块和位于钳位块下方的钳位导轨，所述椭圆放大机构包括与钳位导轨相连的椭圆框架及位于椭圆框架内的钳位压电陶瓷，所述驱动压电陶瓷两端输入有用于控制所述钳位块左右运动的第一电压信号，钳位压电陶瓷两端输入有用于控制所述钳位导轨上下运动的第二电压信号。