发明名称 一种酸腐机滚筒装置
摘要 本实用新型创造提供一种酸腐机滚筒装置,包括硅片放置杆、支撑杆、固定杆和挡板;所述挡板上设有硅片放置杆卡固槽,支撑杆卡固槽,固定杆卡固槽;所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆分别穿过挡板上的硅片放置杆卡固槽、支撑杆卡固槽和固定杆卡固槽,且挡板置于硅片放置杆、支撑杆和固定杆杆体的中间部位,所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆两端分别连接一个挡板。本实用新型创造具有的优点和积极效果是:本实用新型创造中硅片放置杆的结构设计降低了在硅片在酸腐工序中造成的破损率,也保证设备的完好率;安装滑槽的设计,方便结构的安装与维修;新型卡片结构节省材料的使用。
申请公布号 CN204224704U 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201420694517.0 申请日期 2014.11.18
申请人 天津中环领先材料技术有限公司 发明人 武卫;翟洪升;孙希凯;甄红昌;李浩
分类号 C23F1/08(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 主分类号 C23F1/08(2006.01)I
代理机构 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人 杨慧玲
主权项 一种酸腐机滚筒装置,其特征在于:包括硅片放置杆、支撑杆、固定杆和挡板;所述挡板上设有三个硅片放置杆卡固槽,两个支撑杆卡固槽,一个固定杆卡固槽;三个所述硅片放置杆卡固槽的分布为上方一个、下方两个,且三个所述硅片放置杆卡固槽呈等腰三角形分布;两个所述支撑杆卡固槽位置与两个设置在下方的硅片放置杆卡固槽相对应,使所述支撑杆与放置在硅片放置杆上的硅片相切;所述固定杆卡固槽设置在挡板中轴线上中下部位置;所述硅片放置杆包括杆体和卡片,所述卡片在杆体轴向上顺次排布,所述卡片在杆体圆周上均匀分布,在杆体轴向上相邻的所述卡片构成的硅片放置槽为梯形结构;所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆分别穿过挡板上的硅片放置杆卡固槽、支撑杆卡固槽和固定杆卡固槽,且挡板置于硅片放置杆、支撑杆和固定杆杆体的中间部位,所述硅片放置杆、支撑杆和固定杆两端分别连接一个挡板。
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