一种翻转台

摘要

本实用新型涉及到硅片的制造领域，公开了一种翻转台。该翻转台包括：承载硅片的载台，且载台上设置有与每个硅片对应的多个通孔，且每个通孔内穿设有用于顶起硅片的顶针；驱动顶针伸缩的驱动装置；翻转装置，包括：拾取臂，驱动拾取臂绕其轴线转动的旋转驱动装置；其中，拾取臂上设置有与每个硅片对应的至少一个吸取口，每个吸取口与真空泵连接。在上述技术方案中，通过采用翻转装置对硅片进行翻转，使得硅片在加热时，无需从炉内取出，直接可以翻转，从而提高了硅片加热的效率，同时，避免了人工翻转硅片造成的时间浪费以及由于人工翻转易造成的硅片破损等情况的出现，提高了硅片加热后的成品率。

主权项

一种翻转台，其特征在于，包括：承载硅片的载台，且载台上设置有与每个硅片对应的多个通孔，且每个通孔内穿设有用于顶起硅片的顶针；驱动所述顶针伸缩的驱动装置；翻转装置，包括：拾取臂，驱动所述拾取臂绕其轴线转动的旋转驱动装置；其中，所述拾取臂上设置有与每个硅片对应的至少一个吸取口，每个吸取口与真空泵连接。