取放晶粒的装置及方法

摘要

一种取放晶粒的装置，包括一摆臂和一位移控制装置，其特征在于：所述摆臂前端设有一吸头；所述位移控制装置连接所述摆臂的末端，以控制所述摆臂的垂直移动，且所述位移控制装置在控制所述摆臂下降的过程中，对所述摆臂提供一向上的力，以减轻所述晶粒遭受的力。本发明的取放晶粒的装置具有避免吸头损伤晶粒，摆臂移动快速、精准和降低生产成本的优点。

主权项

一种取放晶粒的装置，包括一摆臂和一位移控制装置，其特征在于：所述摆臂前端设有一吸头；所述位移控制装置连接所述摆臂的末端，以控制所述摆臂的垂直移动；取放晶粒时，所述位移控制装置对所述摆臂采取两阶段的移动控制：第一阶段，使所述吸头首先以较快的速度下降至一预定位置，第二阶段，所述位移控制装置开始提供向上的力给摆臂，以减轻所述晶粒遭受的力；所述位移控制装置在所述吸头下降至所述晶粒后，或所述位移控制装置在所述吸头将所述晶粒放置到一预定位置后提供一下压力给所述摆臂，以稳定所述晶粒；所述位移控制装置利用音圈马达提供所述向上的力和所述下压力；所述音圈马达工作产生的作用力为：F＝I×B×L，其中，I是音圈马达的工作电流，B是磁场，L是力矩。