发明名称 基于光栅传感器的位移测量仪
摘要 基于光栅传感器的位移测量仪涉及一种测量系统,尤其是涉及一种位移测量系统的改进。本发明提供一种测量精度高、研制过程简单的基于光栅传感器的位移测量仪。本发明包括微处理器,其结构要点是:硬件电路通过第一光栅传感器与X向导轨系统相连,硬件电路还通过第二光栅传感器与Y向导轨系统相连;X向导轨系统和Y向导轨系统均设置在X-Y工作台上。
申请公布号 CN104457579A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201310417679.X 申请日期 2013.09.14
申请人 徐世铭 发明人 徐世铭;程杰
分类号 G01B11/02(2006.01)I 主分类号 G01B11/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 基于光栅传感器的位移测量仪包括微处理器,其特征在于硬件电路通过第一光栅传感器与X向导轨系统相连,硬件电路还通过第二光栅传感器与Y向导轨系统相连;X向导轨系统和Y向导轨系统均设置在X‑Y工作台上。
地址 110180 辽宁省沈阳市浑南新区三义街48号(沈阳东基工业集团有限公司)