发明名称 |
基于光栅传感器的位移测量仪 |
摘要 |
基于光栅传感器的位移测量仪涉及一种测量系统,尤其是涉及一种位移测量系统的改进。本发明提供一种测量精度高、研制过程简单的基于光栅传感器的位移测量仪。本发明包括微处理器,其结构要点是:硬件电路通过第一光栅传感器与X向导轨系统相连,硬件电路还通过第二光栅传感器与Y向导轨系统相连;X向导轨系统和Y向导轨系统均设置在X-Y工作台上。 |
申请公布号 |
CN104457579A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201310417679.X |
申请日期 |
2013.09.14 |
申请人 |
徐世铭 |
发明人 |
徐世铭;程杰 |
分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
基于光栅传感器的位移测量仪包括微处理器,其特征在于硬件电路通过第一光栅传感器与X向导轨系统相连,硬件电路还通过第二光栅传感器与Y向导轨系统相连;X向导轨系统和Y向导轨系统均设置在X‑Y工作台上。 |
地址 |
110180 辽宁省沈阳市浑南新区三义街48号(沈阳东基工业集团有限公司) |