| 发明名称 |
MEMS三维静动态测试系统 |
| 摘要 |
MEMS三维静动态测试系统属于测试系统领域，尤其是涉及一种MEMS三维静动态测试系统的改进。本发明提供一种测试过程具有高速可视化非接触性特点的MEMS三维静动态测试系统。本发明包括显示干涉仪、显微视觉模块、频闪照明模块、PZT驱动器、PZT相移器、多功能数据卡、信号放大器、图像采集模块，其结构要点是：显示干涉仪、显微视觉模块、频闪照明模块、PZT驱动器、PZT相移器、多功能数据卡、信号放大器、图像采集模块依次相连。 |
| 申请公布号 |
CN104457561A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
| 申请号 |
CN201310418413.7 |
申请日期 |
2013.09.14 |
| 申请人 |
王颖 |
发明人 |
王颖;詹旭涛 |
| 分类号 |
G01B11/00(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01B11/16(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
MEMS三维静动态测试系统包括显示干涉仪、显微视觉模块、频闪照明模块、PZT驱动器、PZT相移器、多功能数据卡、信号放大器、图像采集模块，其特征在于显示干涉仪、显微视觉模块、频闪照明模块、PZT驱动器、PZT相移器、多功能数据卡、信号放大器、图像采集模块依次相连。 |
| 地址 |
110179 辽宁省沈阳市浑南新区世纪路15号火炬创新创业园301室 |
