一种快速检测显影液显影效力的方法

摘要

本发明公开了一种快速检测有机或碱性显影液显影效力的方法，首先通过在同一显影条件下，通过测量显影不同片数基板时对应的显影液电导率，得到显影液电导率与显影片数的关系曲线，即标准曲线；然后结合显影工艺的参数控制，通过计算获得具有适宜显影效力的显影液的电导率值，作为目标电导率；测量显影液的实际电导率，与目标电导率进行对比，判断显影液的显影效力；根据设定的标准显影时间以及标准曲线估算下次测量时间；及测量的实际电导率值超出或等于目标电导率时，更换新鲜显影液。有效降低了显影液的更换更换频率，同时降低了不良产品出现的几率，节约成本，提高良率。

主权项

一种快速检测显影液显影效力的方法，其特征在于，所述显影液为碱性显影液或有机显影液，所述方法包括以下步骤：获得标准曲线：在同一显影条件下，通过测量显影不同片数基板时对应的显影液电导率，得到显影液电导率与显影片数的关系曲线，即标准曲线；结合显影工艺的参数控制，通过计算获得具有适宜显影效力的显影液的电导率值，作为目标电导率；测量显影液的实际电导率，与目标电导率进行对比，判断显影液的显影效力；根据设定的标准显影时间以及标准曲线估算下次测量时间；及测量的实际电导率值超出或等于目标电导率时，更换新鲜显影液。