发明名称 |
一种阵列基板、显示装置及阵列基板的制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种阵列基板、显示装置及阵列基板的制作方法,其中,所述阵列基板包括基板,位于所述基板上的有源层结构,位于所述有源层结构上的栅绝缘层,位于所述栅绝缘层上的栅极层,覆盖所述栅极层和所述有源层结构的层间绝缘层,所述层间绝缘层包括依次层叠的无机膜层和有机膜层,所述层间绝缘层上设置有通孔,位于所述层间绝缘层上的源极和漏极,所述源极和漏极通过所述通孔与所述有源层结构电连接。本发明能降低阵列基板中数据线断线的风险,并降低数据线和扫描线之间的寄生电容值。 |
申请公布号 |
CN104465652A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201410738209.8 |
申请日期 |
2014.12.05 |
申请人 |
上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
发明人 |
楼均辉 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
路凯;胡彬 |
主权项 |
一种阵列基板,包括:基板;位于所述基板上的有源层结构;位于所述有源层结构上的栅绝缘层;位于所述栅绝缘层上的栅极层;覆盖所述栅极层和所述有源层结构的层间绝缘层,所述层间绝缘层包括依次层叠的无机膜层和有机膜层;所述层间绝缘层上设置有通孔;位于所述层间绝缘层上的源极和漏极,所述源极和漏极通过所述通孔与所述有源层结构电连接。 |
地址 |
201201 上海市浦东新区汇庆路889号 |