多晶硅还原炉底盘装置

摘要

本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，公开了一种多晶硅还原炉底盘装置，包括底盘法兰、上底板、下底板，底盘冷却水出水管、N个底盘冷却水进水管，底盘导流板。本实用新型中，所述底盘法兰、上底板与下底板之间形成密闭腔体，所述底盘导流板设于所述密闭腔体内，将所述密闭腔体分成N个流道；所述N为大于3的自然数。这种多流道设计缩短了流道长度，便于冷却水流量的控制，使得底盘冷却速度加快；同时底盘冷却水在各流道内流经的进气管、出气管与电极座数量相同，与上、下底板和底盘法兰的换热面积也相同，共同保证了底盘温度的均衡。

主权项

一种多晶硅还原炉底盘装置，包括底盘法兰、上底板、下底板，其特征在于：所述多晶硅还原炉底盘装置还包含：底盘冷却水出水管、N个底盘冷却水进水管，底盘导流板； 其中，所述底盘法兰、上底板与下底板之间形成密闭腔体，所述底盘导流板设于所述密闭腔体内，将所述密闭腔体分成N个流道，每个所述流道分别连通一个所述底盘冷却水进水管，并且，每个所述流道从连通的所述底盘冷却水进水管处开始向内环绕至底盘冷却水出水管处；所述N为大于3的自然数。