真空泵

摘要

本发明提供一种能使用在泵中配置的数量比温度传感器的数量少的加热装置或冷却装置来进行温度控制的真空泵。针对本泵内的各目标，温度传感器分别被1个1个地配置，另一方面，加热器（147）以及电磁阀（163）仅配置一组。基于这样的多个温度传感器输出信号，在对温度传感器赋予优先级的形式下控制一组加热器和电磁阀。像这样，通过对温度传感器赋予优先级，从而首先先对配置有优先级高的温度传感器的目标施加迅速的开关控制，使温度收敛在控制范围内，之后，对配置有优先级低的温度传感器的目标使温度收敛在控制范围内。

主权项

一种真空泵（100），对被排气装置的气体进行排气，其特征在于，具备：多个温度传感器（151、153、155），被配置在该真空泵（100）的不同部位；以及冷却单元（149）和/或加热单元（147），其数量比该温度传感器（151、153、155）的数量少；以及温度控制单元（161），基于所述多个温度传感器所输出的多个温度信号，按照预先设定的所述多个温度信号的优先级控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。