一种工件架硅粉清除方法及清除装置

摘要

本发明涉及一种工件架硅粉清除方法及清除装置，通过在排形离子风嘴上设置若干吹气嘴，并使吹气嘴分别位于每两个工件架极板之间；排形离子风嘴内的高压电源发生器将输送到排形离子风嘴内的压缩空气电离产生正负电荷；带有正负电荷的压缩空气通过吹气嘴吹向工件架极板表面，将其表面附着的硅粉所带的电荷中和，降低了硅粉的附着力；动力装置驱动排形离子风嘴在垂直方向上下往复运动，将工件架极板表面的硅粉吹落；通过设置在吹气嘴表面的刷毛，在排形离子风嘴上下运动过程中实现对工件架极板表面刷扫清除，提高了工件架的清洁度，节省了人力以及提高了清洁效率，减少PECVD镀膜针孔透空的形成，达到提高非晶硅薄膜转化效率的目的。

主权项

一种工件架硅粉清除方法，其特征在于：包括如下步骤：a)在排形离子风嘴（3）上设置若干吹气嘴（18），并使吹气嘴（18）分别位于每两个工件架极板（11）之间；b) 排形离子风嘴（3）内的高压电源发生器将输送到排形离子风嘴（3）内的压缩空气电离产生正负电荷；c)带有正负电荷的压缩空气通过吹气嘴（18）吹向工件架极板（11）表面，将其表面附着的硅粉所带的电荷中和；d)动力装置驱动排形离子风嘴（3）在垂直方向上下往复运动，将工件架极板（11）表面的硅粉吹落；e)通过设置在吹气嘴（18）表面的刷毛（12），在排形离子风嘴（3）上下运动过程中实现对工件架极板（11）表面刷扫清除。