防刮伤超硬玻璃及其制备方法

摘要

本发明揭示防刮伤超硬玻璃及其制备方法，其为非晶态的氮化碳在玻璃制造领域的具体应用个改进发展。本发明防刮伤超硬玻璃，包括玻璃基板，玻璃基板上设置缓冲纳米层，纳米缓冲层上设置有纳米过渡层，纳米过渡层上设置氮化碳纳米层。本发明使用氧化铝和氮化硅作为玻璃基板的过渡层，增加了膜层的附着力，并采用二氧化硅作为氮化碳与氧化铝或氮化硅内应力的缓冲，可以缩小前面膜层的内应力与氮化碳层之间的应力差，改善膜层硬度和附着力增强耐磨性。解决了氮化碳结构层系由于衬底和层料的应力差较大，镀制后有薄层断裂、脱落和低透过率等现象。莫氏硬度检测达到6.5级，取得了良好增透过防刮效果。

主权项

防刮伤超硬玻璃，包括玻璃基板，玻璃基板上设置缓冲纳米层，纳米缓冲层上设置有纳米过渡层，纳米过渡层上设置氮化碳纳米层;所述纳米过渡层与氮化碳纳米层之间增设纳米缓冲层；其特征在于：缓冲纳米层为氧化铝或氮化硅纳米层，所述纳米过渡层为二氧化硅纳米层，上述各层通过设置条形阳极层离子源的磁控反应溅射镀层工艺连接。