发明名称 实现PoP互连的阵列式焊球排布的封装结构及其制作方法
摘要 本发明提供了一组实现PoP (Package on Package)互连的阵列式焊球排布的封装结构及其制作方法,将 PoP Interface 互连焊球从四周式排布转变为阵列式排布。通过阵列排布互连焊球,可以使上层封装体的焊球分布也变更为阵列形式,可有效增加封装体 I/O的数目。阵列式排布焊球方案有效增大了PoP互连空间,降低了上下封装体回流互连时因凸点变形及位置移动产生短路风险;同时,阵列式焊球排布也较容易实现细间距互连凸点方案。
申请公布号 CN104465611A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201410755941.6 申请日期 2014.12.10
申请人 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 发明人 汪民
分类号 H01L23/528(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 H01L23/528(2006.01)I
代理机构 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人 殷红梅;韩凤
主权项 实现PoP互连的阵列式焊球排布的封装结构,包括上层封装体和底层封装体,其特征是:所述底层封装体包括:基板(1)和绝缘基体(4)之间形成腔体,所述腔体是在绝缘基体(4)下表面加工凹槽得到,在腔体内的基板(1)上贴装芯片(13),在绝缘基体(4)上表面具有若干个小孔,孔内填充导电材料(7),所述导电材料(7)下方为通孔,基板(1)上表面的焊盘上制作有柱状导电凸点(3),导电凸点(3)的位置与导电材料(7)下方通孔对应,穿过通孔与导电材料(7)相连,在绝缘基体(4)上表面为导电层(10),导电层(10)经图形化处理为阵列式排布的焊盘(11),每个焊盘(11)对应连通下方的导电材料(7),导电层(10)上为保护层(12),保护层(12)对应每个焊盘(11)留出开口;所述上层封装体底面的焊球也为阵列式排布,对应底层封装体上的焊盘(11)实现互连。
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