发明名称 |
一种石墨烯光阴极及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种石墨烯光阴极及其制备方法;该石墨烯光阴极由光阴极底座、衬底层、碘化铯薄膜、金膜组成;该石墨烯光阴极的制备方法具体包括如下步骤:S1:采用化学气相沉积法在一定厚度的镍片上生长石墨烯;S2:利用腐蚀液溶解制备石墨烯后的镍片,留下石墨烯;S3:将石墨烯平铺至光阴极底座;S4:利用真空蒸镀法向第3步得到的光阴极底座蒸镀一层碘化铯薄膜;S5:利用磁控溅射法向第4步得到的光阴极底座溅射一层金膜制得石墨烯光阴极。由于石墨烯具有优越的导电性、超高的透光率、良好的光电转换效应以及较强的机械强度,从而极大提高光阴极的透光性、稳定性、光电转换效率、导电性、结构强度、光阴极灵敏度以及宽频带响应平整度。 |
申请公布号 |
CN104465264A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201410610300.1 |
申请日期 |
2014.11.03 |
申请人 |
华中科技大学 |
发明人 |
刘雨昊;魏合林;朱大明;任宽;袁利利 |
分类号 |
H01J1/34(2006.01)I;H01J9/12(2006.01)I;C01B31/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01J1/34(2006.01)I |
代理机构 |
华中科技大学专利中心 42201 |
代理人 |
曹葆青 |
主权项 |
一种石墨烯光阴极,其结构由下至上依次为:光阴极底座、衬底层、碘化铯薄膜、金膜;其特征在于,所述衬底层材料是石墨烯。 |
地址 |
430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |