发明名称 一种可提高光电转换效率的多晶硅片预处理方法
摘要 本发明公开了一种可提高光电转换效率的多晶硅片预处理方法。通过化学预处理工艺,在多晶硅片表面生成1nm-30nm的SiO<sub>2</sub>层,改善制绒工序硅片绒面的均匀性以及表面清洁度,此方法可显著提高太阳能电池的光电转换效率。
申请公布号 CN104465863A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201410368394.6 申请日期 2014.07.30
申请人 上饶光电高科技有限公司 发明人 杨晓琴;陈园;王鹏;柳杉;殷建安;梅超;张宇
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 江西省专利事务所 36100 代理人 杨志宇
主权项 一种可提高光电转换效率的多晶硅片预处理方法,其特征在于:在10‑50℃温度条件下把多晶硅片置于清洗液中浸泡10‑60min,再用纯水进行清洗2‑5min;其中清洗液为HNO<sub>3</sub>与H<sub>2</sub>O 的混合清洗液,HNO<sub>3</sub>与H<sub>2</sub>O 的体积比为1:1‑6,HNO<sub>3</sub>的质量浓度为69‑71%。
地址 334100 江西省上饶市上饶经济开发区旭日片区