基于类金刚石薄膜的纳米孔测量系统及其制备方法

摘要

本发明公开了基于类金刚石薄膜的纳米孔测量系统，包括纳米孔系统、盐溶液腔室和电流监测系统，所述纳米孔系统包括衬底和复合在衬底上表面的类金刚石薄膜I，所述衬底和类金刚石薄膜I表面包覆有绝缘保护层，该衬底刻蚀有锥形孔洞，该类金刚石薄膜I与锥形孔洞顶部相对处刻蚀有纳米孔；所述锥形孔洞与纳米孔位于盐溶液腔室内部且连通上部腔室和下部腔室；所述电流监测系统包括通过导线连接的电源、电流计、电极I、II，所述电极I、II分别位于上部腔室和下部腔室内；本发明还公开了制备该纳米孔测量系统的方法。本发明的纳米孔测量系统以类金刚石薄膜作为纳米孔基材，有效解决了普通纳米孔的孔径不稳定，随着时间的变化而逐渐变大的问题。

主权项

基于类金刚石薄膜的的纳米孔测量系统，包括纳米孔系统、盐溶液腔室和电流监测系统，其特征在于：所述纳米孔系统包括衬底(101)和复合在衬底(101)上表面的类金刚石薄膜I(102)，所述衬底(101)和类金刚石薄膜I(102)表面包覆有绝缘保护层，该衬底(101)刻蚀有锥形孔洞(110)，该类金刚石薄膜I(102)与锥形孔洞(110)顶部相对处刻蚀有纳米孔(112)；所述锥形孔洞(110)与纳米孔(112)位于盐溶液腔室内部且连通上部腔室(201)和下部腔室(202)；所述电流监测系统包括通过导线连接的电源(205)、电流计(206)、电极I(203)、电极II(204)，所述电极I(203)和电极II(204)分别位于上部腔室(201)和下部腔室(202)内。