一种用于激光束偏转角的检测装置及检测方法

摘要

本发明一种激光束偏转角检测装置，沿光轴依次包括：光源，光纤，准直透镜，聚焦透镜，括束透镜，反射面；激光束经反射面反射，沿原路返回，经光纤耦合器耦合，再经分光器件分光到光探测器进行测量。本发明通过激光束在硅片面的反射光耦合进光纤，再通过分束，光功率计探测来检测激光束的偏转角，提高了对激光束偏转角检测的可操作性，降低了对激光束偏转角检测的难度，降低了检测成本，具备较高的检测精度。

主权项

一种激光束偏转角检测装置，其特征在于沿光轴依次包括：光源，光纤，准直透镜，聚焦透镜，括束透镜，反射面；光源发出的激光束经反射面反射，沿原路返回，经光纤耦合器耦合，再经分光器件分光到光探测器进行测量；光纤耦合效率T与激光束偏转角θ的关系为：T＝T(Δr_f)·T(Δθ)＝exp(‑(4f_c·θ((1‑d/f)/d₀+1/(f·div)))²)其中，θ为激光束照射到反射面上的偏转角；f_c为扩束透镜的焦距；Δr_f为聚焦透镜产生的反射光偏移；Δθ为聚焦透镜产生的反射光倾斜；d为聚焦透镜至准直透镜的距离；f为聚焦透镜的焦距；d₀为进入光纤的激光束的光斑直径；div为进入光纤的激光束的全发散角。