发明名称 Ion cleaning and deposition apparatus
摘要
申请公布号 GB1122438(A) 申请公布日期 1968.08.07
申请号 GB19660039826 申请日期 1966.09.06
申请人 GENERAL PRECISION SYSTEMS INC. 发明人
分类号 C23C14/30;C23C14/32;H01J37/36 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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