具有对称差分电容的微机电元件

摘要

本发明提供一种具有对称差分电容的微机电元件，包含：一基板；一上相对电极；一下相对电极；一质量结构，具有一上电极与一下电极，分别与该上相对电极和该下相对电极形成一上电容结构与一下电容结构；一上相对电极延伸壁，其上端连接该上相对电极，下端与该基板连接；以及一下相对电极延伸壁，其下端经由该下相对电极连接该基板；其中该下相对电极延伸壁的上端不与该上相对电极连接，且该上相对电极延伸壁和该上相对电极面向于该质量结构的总表面积和、与该下相对电极延伸壁和该下相对电极面向于该质量结构的总表面积和，为彼此相当。

主权项

一种具有对称差分电容的微机电元件，其特征在于，包含：一基板；一上相对电极；一下相对电极；一质量结构，具有一上电极与一下电极，分别与该上相对电极和该下相对电极形成一上电容结构与一下电容结构；一上相对电极延伸壁，其上端连接该上相对电极，下端与该基板连接；以及一下相对电极延伸壁，其下端经由该下相对电极连接该基板；其中该下相对电极延伸壁的上端不与该上相对电极连接，且该上相对电极延伸壁和该上相对电极面向于该质量结构的总导电部分表面积和、与该下相对电极延伸壁和该下相对电极面向于该质量结构的总导电部分表面积和，为彼此相当。