一种大流量低温等离子体工业废气处理装置

摘要

本发明公开了一种大流量低温等离子体工业废气处理装置，包括设置于底座上的处理装置箱体和设置于处理装置箱体两侧的进气口和出气口，所述处理装置箱体包括处理装置电路控制部分和处理装置气体处理部分，所述处理装置电路控制部分包括相互连接的高压穿墙接线瓷瓶、高压脉冲电源、升压变压器和匹配电感、调制脉冲电源以及电源开关控制面板；待处理的工业废气经由所述设置于处理装置气体处理部分的进气口进入，依次经过进气匀流板和DBD电极组后，由出气口排出。本发明可用单一电源驱动多组同轴式DBD电极，驱动数量可以几十至几百组同轴DBD电极，并使每一个电极都可以产生均匀的放电，并且可以在比较小的驱动功率下产生均匀放电。

主权项

一种大流量低温等离子体工业废气处理装置，包括设置于底座上的处理装置箱体和设置于处理装置箱体两侧的进气口和出气口，其特征在于：所述处理装置箱体包括处理装置电路控制部分和处理装置气体处理部分，其中，所述处理装置电路控制部分包括相互连接的高压穿墙接线瓷瓶、高压脉冲电源、升压变压器和匹配电感、驱动电源以及电源开关控制面板；待处理的工业废气经由所述设置于处理装置气体处理部分的进气口进入，依次经过进气匀流板和DBD电极组后，由出气口排出；所述DBD电极组为复数个并联的同轴式双介质阻挡DBD电极，每个DBD电极的具体结构为：DBD电极包括内电极和外电极，内电极通过引出和固定螺丝经由DBD内外电极固定法兰固定在两侧的DBD电极固定墙板上，外电极也固定在DBD电极固定墙板上，内、外电极相向的表面上设置有稀土元素氧化物并构成 DBD放电区域，所述外电极包括外介质管，所述内电极包括内介质管， 在所述内介质管中填充有低熔点的金属粉。