一种实现不同型机台混合生产的方法

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种实现不同型机台混合生产的方法，通过引入机台组，用分隔符连接不同型机台的制程名称以形成制程组名称，同时用分隔符连接不同型机台的光罩名称以形成光罩组名称，之后再将同一型号的机台的制程名称和光罩名称对应起来，从而实现生产工艺流程中不加多路径就实现同一步骤不同型机台，不同光罩，不同制程混合生产的方式，节省了人力，避免了产能浪费。

主权项

一种实现不同型机台混合生产的方法，其特征在于，应用于产品生产工艺流程中，包括如下步骤：在所述工艺流程中将至少两个不同型机台加入同一机台组中；在各所述不同型机台的制程名称中间加第一分隔符连接成一个制程组的名称；在各所述不同型机台的当前工序所用的光罩名称中间加第二分隔符连接成一个光罩组的名称；根据所述制程组的名称和所述光罩组的名称将所述机台组中每个型号的机台的制程名称和光罩名称对应起来；选定所述机台组中的任一机台，根据该机台的型号找到符合该机台型号的制程和光罩，并与该型号的机台所对应的制程名称和光罩名称进行比对，若比对成功，则利用该机台进行run货。