发明名称 |
发光二极管晶粒的制造方法 |
摘要 |
一种发光二极管晶粒的制造方法,其包括以下步骤:提供一基板;在该基板表面形成缓冲层;在该缓冲层表面形成过渡层,该过渡层为InGaN材质;继续在该过渡层上生长磊晶层,该磊晶层包括依次生长的第一半导体层、发光层及第二半导体层;对该过渡层进行活化处理,即对该过渡层进行激光照射,该激光的波长大于420nm,且活化温度为1000-1400℃以及将该基板和缓冲层自该磊晶层上分离。 |
申请公布号 |
CN104465897A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201310440192.3 |
申请日期 |
2013.09.25 |
申请人 |
展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 |
发明人 |
杨顺贵;洪梓健 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 |
代理人 |
叶小勤 |
主权项 |
一种发光二极管晶粒的制造方法,包括以下步骤:提供一基板;在所述基板表面形成缓冲层;在所述缓冲层表面形成过渡层,该过渡层为InGaN材质;继续在所述过渡层上生长磊晶层,该磊晶层包括依次生长的第一半导体层、发光层及第二半导体层;对所述过渡层进行活化处理,其中对该过渡层进行激光照射,该激光的波长大于420nm,且活化温度为1000‑1400℃;及将该基板和缓冲层自该磊晶层上分离。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华街道办油松第十工业区东环二路二号 |