发明名称 发光二极管晶粒的制造方法
摘要 一种发光二极管晶粒的制造方法,其包括以下步骤:提供一基板;在该基板表面形成缓冲层;在该缓冲层表面形成过渡层,该过渡层为InGaN材质;继续在该过渡层上生长磊晶层,该磊晶层包括依次生长的第一半导体层、发光层及第二半导体层;对该过渡层进行活化处理,即对该过渡层进行激光照射,该激光的波长大于420nm,且活化温度为1000-1400℃以及将该基板和缓冲层自该磊晶层上分离。
申请公布号 CN104465897A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201310440192.3 申请日期 2013.09.25
申请人 展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 发明人 杨顺贵;洪梓健
分类号 H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 代理人 叶小勤
主权项 一种发光二极管晶粒的制造方法,包括以下步骤:提供一基板;在所述基板表面形成缓冲层;在所述缓冲层表面形成过渡层,该过渡层为InGaN材质;继续在所述过渡层上生长磊晶层,该磊晶层包括依次生长的第一半导体层、发光层及第二半导体层;对所述过渡层进行活化处理,其中对该过渡层进行激光照射,该激光的波长大于420nm,且活化温度为1000‑1400℃;及将该基板和缓冲层自该磊晶层上分离。
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