用于对准系统的参考光栅空间像调整装置及调整方法

摘要

本发明公开一种用于对准系统的参考光栅空间像调整装置，沿光线传播的方向依次包括：光源，用于提供照明光束；偏转平板，用于改变照明光束的倾斜角度；曝光对象，所述曝光对象含有至少一个对准标记；光学元件单元，用于将所述对准标记的衍射光束干涉成像在参考光栅上；还包括：偏转平板控制设备，用于控制所述偏转平板的角度；参考光栅Z向驱动装置，用于控制所述参考光栅Z向位移。本发明同时公开一种用于对准系统的参考光栅空间像调整方法。

主权项

一种用于对准系统的参考光栅空间像调整装置，包括：光源，用于提供照明光束；偏转平板，用于改变照明光束的倾斜角度；曝光对象，所述曝光对象含有至少一个对准标记；光学元件单元，用于将所述对准标记的衍射光束干涉成像在参考光栅上；偏转平板控制设备，用于控制所述偏转平板的角度；参考光栅Z向驱动装置，用于控制所述参考光栅Z向位移；还包括光电探测及放大处理单元及信号处理单元，所述光电探测及放大处理单元用于探测光信号并转化为电信号，所述信号处理单元用于处理所述电信号，根据处理结果控制所述参考光栅Z向驱动装置。