一种提高气体测量灵敏度的捕气浓缩装置及其工作方法

摘要

本发明公开了一种提高气体测量灵敏度的捕气浓缩装置，它包括流量可控的质量流量计、至少三级半导体冷阱、泵、活塞式气体收集装置、杆式步进电机、阀门a、阀门b、阀门c、阀门d和阀门e。优越性：本发明可以对温度范围内的多种气体同时进行冷冻捕集，排除水汽及气它气体组分的影响，通过调整不同的解析温度能够实现气体的一一解析，制冷迅速，操作简单，可靠性强，可实现对温度的高精度控制，无污染等。

主权项

一种提高气体测量灵敏度的捕气浓缩装置，其特征在于它包括流量可控的质量流量计、至少三级半导体冷阱、泵、活塞式气体收集装置、杆式步进电机、阀门a、阀门b、阀门c、阀门d和阀门e；所述三级半导体冷阱为一级半导体冷阱、二级半导体冷阱和三级半导体冷阱；所述阀门a与流量可控的质量流量计的输入端通过管道顺序连接，流量可控的质量流量计的输出端与阀门b和一级半导体冷阱的输入端通过三通管道相连，一级半导体冷阱的输出端通过管道依次顺序连接其它半导体冷阱，末级半导体冷阱的输出端与阀门c和阀门d的输入端通过三通管道相连；阀门c的输出端连接泵，阀门d的输出端与活塞式气体收集器和阀门e的输入端之间用三通管道相连；活塞式气体收集器的输出端与杆式步进电机相连。