铈基混合稀土抛光粉及其制备方法

摘要

本发明的目的在于公开一种铈基混合稀土抛光粉及其制备方法，所述铈基混合稀土抛光粉由晶型为氟氧化物稀土与立方相稀土氧化物组成的均一固溶体；与现有的产品相比，采用本发明制备部分氟化的碳酸稀土与碳酸稀土混合，一方面确保了氟化反应均匀性，另一方面解决了碳酸稀土一次氟化难脱水和产量低的缺点；通过氟含量的控制，确保了氟化均匀性，解决了氟化不均匀而产生影响抛光精度及速率的游离态氟离子及氟化物，在焙烧过程中不产生局部异常粗大的颗粒；产品的耐磨性好，抛光速率快，抛光精度容易控制；产品的均一性好，生产效率高，成本低、无污染，适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密器件的表面抛光加工，实现本发明的目的。

主权项

一种铈基混合稀土抛光粉，其特征在于，它由晶型为氟氧化物稀土与立方相稀土氧化物组成的均一固溶体；所述混合稀土抛光粉的粒径D₅₀为0.6‑4.0μm，相对抛光效率≥80％，上述铈基混合稀土抛光粉的制备方法，它包括如下步骤：(1)碳酸稀土部分氟化的制备：将碳酸稀土与水混合打浆，经球磨后，加热至30‑50℃，加入无机酸至pH值为3‑4后，加入稀释后的氟化剂，经充分搅拌后用碳酸氢铵溶液回调至pH值为6.5‑7，保温一定时间后脱水、干燥，得部分氟化的碳酸稀土混合物；(2)混合：将上述得到的部分氟化的碳酸稀土混合物与相应的碳酸稀土相互混合；(3)焙烧：将上述混合后的产物经高温焙烧，得稀土抛光粉前驱体；(4)粉碎、分级：将稀土抛光粉前驱体经粉碎、分级，得铈基混合稀土抛光粉；其中，所述碳酸稀土与水的混合比例以质量分数计为40‑60％；所述氟化剂选自40％的氢氟酸或氟硅酸，所述氟化剂的加入量为80‑120kg/吨碳酸稀土。