一种探针保护装置

摘要

本发明涉及半导体集成单路及其制造领域，尤其涉及一种探针保护装置。本发明提出的一种探针保护装置，在探针卡上设置距离传感器，当探针过度靠近硅片时通过警报装置发送警报以提醒探针操作者停止探针移动的动作，以避免因探针下降过度，造成探针碰到硅片使得探针变形或压断。

主权项

一种探针卡，其特征在于，应用于对放置在承载台上的硅片进行测试的工艺中，所述探针卡包括：针座；探针，固定于所述针座上；传感器，固定设置在所述针座上，以获取该传感器与所述硅片之间的实时距离；报警装置，与所述传感器连接；其中，所述传感器中还预存储有一安全距离，且当所述实时距离小于或等于所述安全距离时，触发所述报警装置报警。