发明名称 一种降低二氧化钒薄膜相变温度的方法
摘要 本发明公开了一种降低二氧化钒薄膜相变温度的方法,包括以下步骤:1)制备出具有相变功能的M相二氧化钒薄膜,所述M相二氧化钒薄膜形成于基板上;2)将步骤1)制备的M相二氧化钒薄膜样品置于退火装置中,将退火装置抽真空至真空度为200~2000Pa后保持真空度不变或者抽真空至真空度为200~2000Pa后通入惰性气体至标准大气压,再升温至280~320℃,保温时间为0.5~3h,然后随炉自然冷却至室温,即可得到相变温度降低的二氧化钒薄膜。本发明能够降低纯氧化钒薄膜的相变温度,也能降低掺杂氧化钒薄膜的相变温度,具有非常广阔的使用范围。此外,本发明处理温度低,工艺简单,安全性好,在高端光电功能材料领域具有广阔的应用前景。
申请公布号 CN104445990A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201410673812.2 申请日期 2014.11.21
申请人 武汉理工大学 发明人 陶海征;赵新宇;赵修建
分类号 C03C17/23(2006.01)I;C04B41/50(2006.01)I;C09K5/06(2006.01)I 主分类号 C03C17/23(2006.01)I
代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人 邬丽明;刘锦霞
主权项 一种降低二氧化钒薄膜相变温度的方法,其特征在于,它包括以下步骤:1)制备出具有相变功能的M相二氧化钒薄膜,所述M相二氧化钒薄膜形成于基板上;2)将步骤1)制备的M相二氧化钒薄膜样品置于退火装置中,将退火装置抽真空至真空度为200~2000Pa后保持真空度不变或者抽真空至真空度为200~2000Pa后通入惰性气体至标准大气压,再升温至280~320℃,保温时间为0.5~3h,然后随炉自然冷却至室温,即可得到相变温度降低的二氧化钒薄膜。
地址 430070 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号