| 发明名称 | 蒸镀装置及其防水换料方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种蒸镀装置及其防水换料方法，所述蒸镀装置包含一蒸镀腔体、一第一蒸镀源、一第一遮挡单元、一第二蒸镀源及一第二遮挡单元，所述第一蒸镀源对水气具有反应惰性，所述第二蒸镀源对水气具有反应活性，所述第二遮挡单元具有一第二支架及一第二遮挡盖，所述第二支架可转动的设置在所述第一及第二蒸镀源之间，所述第二支架用以转动所述第二遮挡盖，以遮挡所述第一及第二蒸镀源两者其中之一。 | ||
| 申请公布号 | CN104451553A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201410852164.7 | 申请日期 | 2014.12.31 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 邹成;黄伟 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人 | 黄威 |
| 主权项 | 一种蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置包含：一蒸镀腔体；一第一蒸镀源，对水气具有反应惰性；一第一遮挡单元，具有：一第一支架，可转动的设置在所述第一蒸镀源的一侧；及一第一遮挡盖，连接所述第一支架且用以遮挡所述第一蒸镀源；一第二蒸镀源，对水气具有反应活性，并与所述第一蒸镀源相间隔；一第二遮挡单元，具有：一第二支架，可转动的设置在所述第一及第二蒸镀源之间；及一第二遮挡盖，连接所述第二支架，所述第二支架用以转动所述第二遮挡盖，以遮挡所述第一及第二蒸镀源两者其中之一。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 | ||