| 发明名称 | 一种导电氧化锆旋转靶材及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种导电氧化锆旋转靶材，该靶材成分为ZrO<sub>x</sub>，所述靶材密度为5.18—5.8g/cm<sup>3</sup>，其中，1.2≤X≤1.8。本发明还提供了一种导电氧化锆旋转靶材的制备方法，包括：氧化锆喷涂粉的制备；喷涂基体的处理；喷涂打底层；用等离子喷涂工艺在喷涂基体上喷涂氧化锆涂层。本发明提供的导电氧化锆旋转靶材，靶材结构致密、成分均匀、导电性好、无裂纹，其喷涂长度和直径不受限制，厚度可达到13mm，密度为5.18—5.8g/cm<sup>3</sup>，且本发明提供的导电氧化锆旋转靶材的制备方法，生产过程简单便捷，成本较低。 | ||
| 申请公布号 | CN104451582A | 申请公布日期 | 2015.03.25 |
| 申请号 | CN201410841672.5 | 申请日期 | 2014.12.30 |
| 申请人 | 北京恒隆科技有限公司 | 发明人 | 不公告发明人 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人 | 刘杰 |
| 主权项 | 一种导电氧化锆旋转靶材，其特征在于：该靶材成分为ZrO<sub>x</sub>，所述靶材密度为5.18—5.8g/cm<sup>3</sup>，其中，1.2≤X≤1.8。 | ||
| 地址 | 102208 北京市昌平区回龙观东大街336号院3号楼3层 | ||