载台升降装置、反应腔室及等离子体加工设备

摘要

本发明提供的载台升降装置、反应腔室及等离子体加工设备，其中：托架驱动源驱动轴提升托架作升降运动，波纹管轴穿过轴提升托架，并与其固定连接，以随轴提升托架在直线轴承内作升降运动，继而实现固定于波纹管轴上的载台的升降运动；载台升降装置，导向机构用于限制所述波纹管轴在升降过程中自身的轴向转动，其中：波纹管轴依次穿过直线轴承、导向轴承安装组件以及轴提升托架，导向轴承安装组件抱紧波纹管轴；导向轴的上端固定于反应腔室的腔室壁上，导向轴的下端穿过导向轴承安装组件，以使导向轴承安装组件随轴提升托架沿导向轴作升降运动。本发明提供的载台升降装置，其可以约束连杆的旋转自由度，从而可以保证承载装置不会发生偏转。

主权项

一种载台升降装置，包括升降单元，所述升降单元包括：波纹管轴、直线轴承、轴提升托架以及托架驱动源，其中：所述托架驱动源用于驱动所述轴提升托架作升降运动，所述波纹管轴穿过所述轴提升托架，并与其固定连接，以随所述轴提升托架在所述直线轴承内作升降运动，继而实现固定于波纹管轴上的载台的升降运动；其特征在于，所述载台升降装置，还包括导向机构，用于限制所述波纹管轴在升降过程中自身的轴向转动；所述导向机构，包括：导向轴和导向轴承安装组件，其中：所述波纹管轴依次穿过直线轴承、导向轴承安装组件以及轴提升托架，所述导向轴承安装组件抱紧所述波纹管轴；所述导向轴的上端固定于反应腔室的腔室壁上，所述导向轴的下端穿过所述导向轴承安装组件，以使所述导向轴承安装组件随所述轴提升托架沿所述导向轴作升降运动。